主要就是在杆状阴极和环形阳极之间施加直流电压，当气体通过时引发电弧，加热气体，高温膨胀的气体从阳极嘴高速喷出，形成等离子体射流。

　　引弧的气体通常是氩气，等形成等离子体射流后，通入反应气体甲烷和氢气，甲烷和氢气被离化，并达到水冷沉积台的衬底，在衬底上成核、生长金刚石薄膜。

　　而且这种方法制备金刚石薄膜，不禁速度快，而且质量高，还无电磁污染。

　　但是，由于喷射等离子体的速度场合温度场不均匀，使其沉积范围内膜厚不均，会呈梯形分布。

　　在沉积速度过快时，膜的表面不平整，就会大大降低膜的致密度。

　　看到这，陈舟古怪的笑了笑：“看来，太快了也不好……”

　　但是整体来说，这种方法还是很有研究潜力的。

　　陈舟在草稿纸上做着记录，并把自己的想法记在一旁。

　　把DAPCVD法的相关文献看完后，陈舟右手滑动鼠标，点开了一个新的PDF文件。

　　最后一个制备方法。

　　微波等离子体CVD法，也就是MPCVD法。

　　是四十三所所采用的的方法。

　　也是陈舟查这么文献的目的。

　　和DAPCVD法被报道的时间，仅相隔一年。

　　这也是目前用于沉积金刚石薄膜最为广泛的方法。

　　这种方法最先是通过一种轴向的天线耦合器，将2～5W的矩形微波进行导转换，在大气压下形成等离子体。

　　而高压等离子体就会由耦合器的“针孔”处喷射到水冷的样品台上，继而形成金刚石薄膜。

　　和DAPCVD法使用的气源相同，主要是氩气，反应气体是甲烷和氢气。

　　现如今，这种方法已经形成了多种形式。

　　不过不管是按真空室的形成来分的石英管式、石英钟罩式和带有微波窗的金属腔体式，还是按微波与等离子体的耦合方式来分的表面波耦合式、直接耦合式和天线耦合式。

　　它们的沉积速率，都是和微波功率有关的。

　　举个例子，用5kW微波功率的MPCVD法，可以以10μm/h的速率沉积工具级金刚石薄膜，以8μm/h的速率沉积热沉级金刚石薄膜，以3μm/h的速率沉积光学级金刚石薄膜。

　　而用10kW微波功率的时候，他的沉积速率可以达到25μm/h。

　　也就是说，通过增大微波功率，可以提高金刚石薄膜的沉积速率。

　　除此之外，金刚石薄膜的沉积速率还和气体压力有关。

　　在高微波功率，高的甲烷与氢气体积流量比，160Torr气体压力下，可以制备出150μm/h的多晶金刚石薄膜。

　　如果在同等条件下，将压力提高至310Torr下，可以制备出165μm/h的单晶金刚石薄膜。

　　“气体压力……”

　　“微波功率……”

　　陈舟在草稿纸上写下这两个词汇。

　　拿笔点了两下，随手便划了两个圈。

　　这是重点。

　　放下笔，陈舟滑动鼠标，继续看文献的内容。

　　MPCVD法之所以会成为最广泛的方法，是因为这种方法比DAPCVD法制备的金刚石薄膜质量更好。

　　很好的解决了膜的致密度不高的问题同时，还可以产生大体积的金刚石薄膜。

　　此外，这种方法还能在曲面或者复杂表面上进行金刚石薄膜的沉积。

　　而且MPCVD法无内部电极，可以避免电极放电污染和电极腐蚀。

　　可以说是满足了制备高质量金刚石薄膜的条件。

　　但是，就像四十三所实验室的装置一样，MPCVD法的沉积速率是硬伤。

　　看完了这篇详细介绍MPCVD法的文献后，陈舟不禁想到。

　　“如果有DAPCVD法一半的速度，再加上MPCVD法的制备质量，那这事不就成了吗？”

　　第二百四十七章 这是第10组

　　提出一个想法是容易的，但把这个想法变为现实，却是异常困难的。

　　电脑上，打开的全是DAPCVD法和MPCVD法的相关文献。

　　电脑前，陈舟拿着笔，在草稿纸上奋笔疾书。

　　两种方法的差异性，两种方法的优缺点，两种方法各自的制约条件，两种方法可能存在的相融性……

　　陈舟全部一一列举了出来。

　　“除了微波功率和气体压力，衬底的温度不均匀，也会影响金刚石薄膜的沉积速率，而且会使得薄膜的质量变差……”

　　“过快的沉积速率，同样会影响金刚石薄膜的均匀性，导致膜的质量变差……”

　　陈舟的脑海中不断闪过影响沉积速率和薄膜质量的因素。

　　看了一眼草稿纸上自己写的内容，陈舟喃喃道：“矛盾……”

　　没错。

　　金刚石薄膜的沉积速率与薄膜的质量是存在矛盾关系的。

　　快速沉积的金刚石薄膜的沉积面积，是被限制在几毫米之间的。

　　这就导致了均匀性较差，薄膜的质量不高。

　　“算了，时候不早了，还是先睡觉吧……”

　　轻轻放下笔，陈舟关了电脑，起身去洗漱了。

　　走到一半，他突然想起来一件事。

　　“完蛋了，完蛋了……这下死定了……”

　　陈舟嘴里嘟囔着，快步跑到桌子边，拿起手机看了一眼。

　　杨依依没发消息来。

　　陈舟还以为自己看错了，又确认了一下。

　　杨依依确实没有发一条消息过来……

　　陈舟看了眼时间，已经一点了。

　　想了想，他打开聊天界面，开始给杨依依发消息：

　　【依依，对不起啊，今天真的是忙过头了，晚上还让一凡帮忙整理资料呢，很抱歉忘记给你发消息了。】

　　【在庐州待的时间可能比我的预期要长一些，我会尽快解决事情，回燕大的。】

　　【依依，晚安。】

　　看着发过去的消息，陈舟微微扯动嘴角：“也不知道这样晚来的解释有没有用？”

　　这次确实是他忘记了。

　　在来之前，杨依依就强调了，到地方安顿好之后，给她打个视频电话。

　　结果这是安顿好了，可已经半夜一点了……

　　就在陈舟纠结的时候，手机响了。

　　杨依依发过来了视频通话邀请。

　　陈舟微微有些惊讶，但立马按下了接听。

　　手机上，出现了杨依依的画面。

　　杨依依那边，宿舍已经熄灯了，她躺在床上，借着台灯的光在照亮。

　　看杨依依戴着耳机等着自己的模样，陈舟微微有些动容。

　　这丫头，怕不是一直在等着自己吧？

　　陈舟刚要说话，杨依依已经压低声音，先说道：“刚忙好吗？是不是还没洗澡？”

　　陈舟点点头：“一直在整理课题资料，刚打算去洗澡……”

　　杨依依看着陈舟，眼神温柔的说道：“你呀，一忙起来就不知道时间了，我本来以为你今天才去，最起码今晚不会陷入课题中去的，结果你一去，就自己揽了个课题……”

　　陈舟微微一怔，旋即看了一眼被静音的聊天群。

　　这个张一凡，把金刚石薄膜制备工艺的事，在他们的聊天群里说了……

　　想了想，陈舟轻声笑道：“都是一整个课题的，不算揽。”

　　杨依依没有说话，就这么看着陈舟。

　　陈舟一时也不知道说什么好了。

　　说起来，不算寒暑假的话，这还是两人第一次分开。

　　过了一会，杨依依嘟了嘟嘴，旋即说道：“行吧，你想去改变制备工艺，那就去做，我相信你可以做到。但是现在你得去洗澡睡觉了，要好好休息，才能攻克难题！”

　　听到杨依依的话，陈舟笑了笑，使劲点了点头：“嗯，我知道了，你快点睡觉吧。”

　　杨依依尽量把声音再压低：“我等你洗好澡一起睡，我先把台灯关了，我怕吵到李静她们。”

　　陈舟：“那我快去快回，你等我一下。”

　　杨依依：“好。”

　　陈舟把手机放在一旁，快步走进卫生间，开始洗漱。

　　男生洗澡有一个特点，那就是快！

　　莲蓬头打湿头发和身上，洗发水抹头上，沐浴露抹身子，两手搓动，搞定！

　　至于洗面奶之类的，陈舟倒是从未用过。

　　毕竟，像他这么帅的人，一般都不用这玩意。

　　擦干头发和身子，再刷个牙，前后五分钟，陈舟便搞定了。

　　不过，担心自己这边声音吵到杨依依，陈舟出卫生间后，脚步放缓了不少。

　　当他重新拿起手机时，对面的杨依依已经睡着了。

　　翌日。

　　陈舟照常早起晨跑，严格按照以往的生活规律来。

　　晨跑时，陈舟不自觉的就想到了开了一夜的手机视频。

　　杨依依睡觉的模样，他已经全程记录了下来。

　　陈舟只想说，真的很可爱，很好看，很有吸引力呀……

　　早八点，彭飞出现酒店，跟陈舟他们一起吃了早餐。

　　他是来接两人的。

　　在课题研究期间，他被吴博士安排，算是兼职起了陈舟和沈靖的“导游”。

　　吃饭时，陈舟问道：“彭工，今天的正式实验，是对金刚石进行p型和n型掺杂？”

　　“没错，两个实验在今天同时进行。”彭飞点了点头，随即惋惜道，“但还是可惜，我们人手不足，不然就把p型掺杂、n型掺杂和共掺杂一起做了。”

　　闻言，陈舟笑了笑，转而问道：“昨天吴博士说这是最后一组掺杂实验了，是这样吗？”

　　彭飞看了陈舟一眼，解释道：“吴博士的意思不是说这是这个课题的最后一组实验，而是指这是前期依据实验设计进行的最后一组实验。”

　　担心陈舟没听懂，彭飞又补充道：“我们的课题研究一般是先把设计的实验完成，再进行实验分析，改进实验，再重新设计实验。现在的就是刚开始设计的实验。”

　　陈舟点了点头，又问道：“那前期一共进行了多少组实验？”

　　彭飞有些意外的看着陈舟：“昨天吴博士没把实验数据给你吗？”

　　陈舟摇了摇头：“还没有。”

　　彭飞微微皱眉，按理说陈舟和沈靖来就是为了在数据分析上帮忙的，为什么吴博士没把数据给他们？

　　彭飞没想明白，但他觉得应该不是什么大事，可能吴博士有自己的考虑。